优选金属材料

内存扩展的优选金属材料

芯片制造商正逐步淘汰先进节点上的部分金属。虽然钌衬层已接近量产阶段，但该金属尚无法在高度规模化的互连结构中替代铜。imec 研究员Zsolt Tőkei指出，钌的成本极高，而现有制造工艺对此并无改善作用。此外，在大马士革工艺（damascene schemes